Система травления сфокусированным ионным пучком Hitachi FB2200

Для дополнительной информации и коммерческого предложения

Система ионного травления предназначена для быстрого приготовления образцов для просвечивающей и/или сканирующей электронной микроскопии. В качестве сканирующего зонда используется не электронный луч, а сфокусированный пучок ионов галлия. Оператор имеет возможность выбора параметров ионного пучка в широком диапазоне энергии (от 2 до 40 кВ), определяя, таким образом, режим просмотра поверхности или режим травления (приготовления образца). В режиме просмотра поверхности разрешение FB2200 составляет не менее 6 нм при ускоряющем 40 кВ. При увеличении тока до 60 нА ионный луч с высокой скоростью режет образец по заданной программе. Геометрические параметры отрезаемого участка выдерживаются с микронной точностью. Вакуумные установки позволяют приготовить образец без окисления или внесения повреждений.

Для получения коммерческого предложения заполните форму


Пользовательское соглашение

 

Параметры луча
Ускоряющее напряжение 10-40 кВ
Разрешение изображения 6 нм или лучше при 40 кВ
Ионная оптика
Увеличение х700 – х90 000 (до х300 000 на 40 кВ)
Источник ионов    Ga
Ток пучка 60 нА
Система нанесения Углерод, вольфрам

Новости

Архив новостей

Подписка на новости