Сканирующий электронный микроскоп

Основная задача сканирующих электронных микроскопов — получение изображений за счет воздействия маленьким (меньше 1 миллионной доли метра) пучком электронов на исследуемый образец, помещенный в промышленный вакуум. В зависимости от конструкции микроскопы выдают сведения о:

  • рельефе поверхности;
  • химическом составе пробы;
  • структуре приповерхностных слоев.

Режимы работы микроскопа обусловлены механизмом регистрирования сигнала и классифицируются на:

  • детектирование вторичных электронов (характерны максимальное разрешение, существенная глубина резкости (от 0,6 до 0,8 мм); выдает четкие микрофотографии с трехмерным эффектом — идеально для исследования структуры образцов);
  • детектирование электронов, отраженных от образца упругим рассеиванием (дает сведения о соотношении элементов в исследуемой пробе);
  • режим катодолюминесценции и пр.

Пространственное разрешение микроскопа определяется поперечным размером электронного пучка, зависящего от фокусирующей его электронно-оптической системы. Оно ограничено областью взаимодействия зонда и анализируемого образца.

Сканирующими электронными микроскопами данного типа пользуются:

  • при проведении физических, биологических и иных естественнонаучных исследований;
  • в производстве/ремонте электроники (выявление дефектов микросхем);
  • для определения качества поверхности изделий на промежуточных этапах фотолитографического процесса;
  • при решении других лабораторных и производственных задач.

Наш каталог презентует стационарные и настольные модели, цену приборов уточняйте по телефону.

Основная задача сканирующих электронных микроскопов — получение изображений за счет воздействия маленьким (меньше 1 миллионной доли метра) пучком электронов на исследуемый образец, помещенный в промышленный вакуум. В зависимости от конструкции микроскопы выдают сведения о:

  • рельефе поверхности;
  • химическом составе пробы;
  • структуре приповерхностных слоев.

Режимы работы микроскопа обусловлены механизмом регистрирования сигнала и классифицируются на:

  • детектирование вторичных электронов (характерны максимальное разрешение, существенная глубина резкости (от 0,6 до 0,8 мм); выдает четкие микрофотографии с трехмерным эффектом — идеально для исследования структуры образцов);
  • детектирование электронов, отраженных от образца упругим рассеиванием (дает сведения о соотношении элементов в исследуемой пробе);
  • режим катодолюминесценции и пр.

Пространственное разрешение микроскопа определяется поперечным размером электронного пучка, зависящего от фокусирующей его электронно-оптической системы. Оно ограничено областью взаимодействия зонда и анализируемого образца.

Сканирующими электронными микроскопами данного типа пользуются:

  • при проведении физических, биологических и иных естественнонаучных исследований;
  • в производстве/ремонте электроники (выявление дефектов микросхем);
  • для определения качества поверхности изделий на промежуточных этапах фотолитографического процесса;
  • при решении других лабораторных и производственных задач.

Наш каталог презентует стационарные и настольные модели, цену приборов уточняйте по телефону.

Новости

Архив новостей

Подписка на новости