Компания «Интерлаб» успешно завершила монтаж и ввод в эксплуатацию метрологического электронного микроскопа (CD-SEM) Hitachi S-9380II

26.08.2016

Hitachi-S9380II-CD-SEM
Компания "Интерлаб" успешно завершила монтаж и ввод в эксплуатацию метрологического электронного микроскопа (CD-SEM) Hitachi S-9380II. Прибор установлен на АО "Ангстрем-Т", который является одним из крупнейших в России производителем интегральных схем. http://www.angstrem-t.com/press-center/detail.php?ELEMENT_ID=1004.">Микроэлектронная фабрика Ангстрем-Т введена в коммерческую эксплуатацию с августа этого года:
В настоящий момент АО Ангстрем-Т освоил выпуск чипов с топологией до 90 нм на пластинах 200 мм, в то же время CD-SEM Hitachi S-9380II позволяет контролировать метрологию с техпроцессом до 45 нм на пластинах до 300 мм, что оставляет серьёзный задел для будущего совершенствования технологии.

Hitachi High-Technologies - крупнейший в мире производитель метрологических электронных микроскопов, владеющий долей рынка в 85%. В России CD-SEM Hitachi используются на заводе ОАО "Микрон". Современные CD-SEM Hitachi CG5000 позволяют вести производство интегральных схем с топологией менее 22 нм.

ООО "Интерлаб" является эксклюзивным представителем Hitachi High-Technologies в России, и осуществляет поставки, гарантийное и постгарантийное обслуживание всей линейки электронных микроскопов, как новых, так и восстановленных в заводских условиях.

Новости

Архив новостей

Подписка на новости